






在空气中含有的0.932%的,沸点在氧、氮之间,在空分装置上塔的中部含量---,叫馏分。在分离氧、氮的同时,将馏分抽出,进一步分离提纯,也可得到副产品。对全低压空分装置,一般可将加工空气中30%~35%的作为产品获得(流程已可将的提取率提高到80%以上);对中压空分装置,由于膨胀空气进下塔,不影响上塔的精馏过程,的提取率可达60%左右。但是,稀有气体,小型空分装置总的加工空气量少,稀有气体厂家,所能生产的气量有限,稀有气体供应站,是否需要配置提装置,要视具体情况确定。


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高纯气体管道是高纯气体供气系统的重要组成部分,是将符合要求的高纯气体送至用气点仍保持合格的关键 ,包括系统的设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容。半导体技术是 20 世纪以来---也是具有生命活力的技术,半导体制造技术是贯穿高纯气体的提供、原料硅的提炼 、晶圆的制造 、ic 的封装和测试的整个过程。反映当今---水平的微电子产品,正以、低成本为目标,高速地向高密度、高集成发展,对气体杂质含量---严格 ,相应 的高纯、高洁净气体及其管路的输配


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